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真空鍍膜設備真空測量
發(fā)布時間:2014-02-28 瀏覽:  次

    真空測量是指用特定的儀器、對某一真空鍍膜設備空間內(nèi)真空度高低的量度。因此真空測量儀表好壞直接影響設備正常運行。真空計的種類很多,大體上可分絕對真空計和相對真空計兩大類。凡通過測定物理參數(shù)直接計出氣體壓強的真空計稱為絕對真空計。通過測量與壓強有關物理量,并進行計算得到壓強值的真空計稱為相對真空計。絕對真空計精度較高,一般作為標準用,在實際生產(chǎn)中,大都使用相對真空計。

 

    相對真空計的校準,可用標準水銀真空計進行對比校準。在沒有水銀真空計的條件下,可進行滿偏和零位校準。滿偏校準是指在大氣壓條件下,把真空計調(diào)至滿偏,零位校準是指達到最高真空度進行調(diào)試或用未開封的玻璃真空規(guī)管進行校準(標準為5.5×10-3Pa)。

 


    在實際工作中,如何根據(jù)真空鍍膜設備的要求選用合適的真空計,按以下幾個原則選用:
(1)所用真空計的測量范圍應比被測壓力范圍寬1—2數(shù)量級。
(2)對真空計精確度,重復性、可靠性的要求應滿足工藝要求。
(3)應注意真空計是否與被測氣體種類有關。
(4)應注意真空計是否有切換功能,讀數(shù)反應迅速與否。
(5)應注意真空規(guī)管安裝位置和環(huán)境的要求。
(6)真空鍍膜設備真空計價格是否適宜以及該計是否易于維護等。

 

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