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| 分子泵葉片破碎的原因？ |
| 發(fā)布時間：2014-09-10 瀏覽： 次 |
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造成分子泵轉(zhuǎn)子、靜子打碎的原因比較多，歸納起來主要是以下幾點： 1、誤操作;比如突然的破真空，因為轉(zhuǎn)子與靜子葉片之間的空隙非常的小，如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟，突然的空氣阻力會造成葉片變形，這樣可能會造成轉(zhuǎn)子靜子之間的摩擦，導致打碎。 2、是異物掉入;沒有安裝過濾網(wǎng)使肯定不行的，另外掉進去的東西不一定要多大，但如果硬度夠了一樣會造成傷害，輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀，重則打碎葉片。所以現(xiàn)在的設備商在安裝分子泵的時候會盡量改為側(cè)面90度或倒立安裝，避免異物掉入。 3、電壓的不穩(wěn)定，特別對磁浮類的分子泵損傷較大。 4、前級泵的效率差;我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會啟動。如果前級泵的效率差，分子泵就會比較吃力，啟動速度慢，抽氣時間長，電流高，分子泵溫度升高等。 5、分子泵保養(yǎng)時的動平衡沒有做好，這是技術(shù)的關(guān)鍵，動平衡差，振動就大，抽氣效率就差，也容易造成軸承部分的過度磨損。 6、軸承部分沒有使用原廠的標準軸承，效果和尺寸不標準等。 以上資料由愛加真空(http://m.evillurksmovie.com)收集整理，我公司專業(yè)維修各種進口真空鍍膜設備以及Polycold維修,因為專注所以才專業(yè)! 相關(guān)閱讀 |
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