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| 真空鍍膜設(shè)備鍍膜誤差鑒別方法 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-09-23 瀏覽： 次 |
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真空鍍膜設(shè)備光學(xué)監(jiān)控是高精密鍍膜的的首選監(jiān)控方式之一，精確度的改進(jìn)源于對(duì)光學(xué)厚度的監(jiān)控，是采用間接測(cè)控。 特別適合于各種膜厚的鍍膜監(jiān)控包括非規(guī)整膜監(jiān)控。 最直接的控制方法是石英晶體微量平衡法，保持蒸發(fā)速率。 只要將儀器與系統(tǒng)控制軟件相連接，它就可以控制整個(gè)的鍍膜過(guò)程。但溫度較高時(shí)，它會(huì)變得對(duì)溫度非常敏感。 在長(zhǎng)時(shí)間的加熱過(guò)程中，很難阻止傳感器跌入這個(gè)敏感區(qū)域，從而對(duì)膜層造成重大誤差。 推薦產(chǎn)品 |
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